一般来说,仪器越灵敏,初始投资越高,维护成本越高。如果激光尘埃粒子计数器在颗粒浓度高的环境中使用,可能需要技术服务人员经常清洗。
当有多个颗粒同时出现在光敏区时,光电器件所接收的信号是所有颗粒散射光的总和,这样仪器显示的测量结果即为一颗较大粒径的粒子,显示的结果比实际数量要少。尘埃粒子计数器的光敏区越大,在光敏区同时出现两个甚至两个以上粒子的可能性就越大。而气体中粒子浓度越高,光敏区同时出现两个以上粒子的可能性也越大。重合误差的大小直接影响仪器所给出测量值的准确程度。
而由于种种条件的限制,我国现有的校准规范中并没有对此项参数的要求。那么,可以根据公式计算重合误差。在动态情况下,如果一个粒子进入光敏区之前,光敏区无任何粒子,此时计数器仍然显示为一个粒子,这种情况下粒子的计数由下式给出:其中,Ni 为仪器所显示的粒子浓度;Nt 为粒子浓度;V 为光敏区容积。此公式可以对常规尘埃粒子计数器的重合计数误差作一个比较保守的计算。
尽管大部分的尘埃粒子计数器厂家都使用相同的原则,但是每一家的设计细节都是不一样的。
比如尘埃粒子计数器的流量、灵敏度、尺寸范围和计数通道数量、激光或激光二极管的耐用性、光源的寿命、保持校准的能力都是需要考虑的重要因素。
通常,根据仪器的规格和成本来选择在洁净室中使用的尘埃粒子计数器。
以下是应该考虑的问题及因素:
1.这个粒子计数器是否会被用于认证洁净室和从测试完一个位置以后然后到另一个位置?
2.预计收集什么类型的数据?将这些信息记录为简单的合格/不合格?还是将信息记录到电子表格或数据库中?
3.尘埃粒子计数器是否会被用来进行连续的动态的洁净室粒子监测?粒子计数器是否打算与环境监控系统连接?
4.粒子计数器将用于什么类型的环境?是将其用于ISO 3级洁净室进行常规颗粒计数,还是将其用于验证流动的关键工艺过程?
5.零计数水平或虚假计数速率:使用经过滤的空气以流速持续给定的时间量的错误报告的颗粒的数量。这个正确的报告是每5分钟的粒子数量。(期望的零计数率应该小于每5分钟1次)
6.操作人员是否将尘埃粒子计数器放在周围,是将其放置在关键的工艺的工作台上,还是将其安装在可以移动的小车上?
7.灵敏度:可检测的zui小尺寸的颗粒。
8.通道:这是根据计算的每个颗粒的相应尺寸,颗粒所放入的“箱”的数量。通道以微米表示。例如,你可能有一个4通道的粒子计数器。这意味着可以在4个不同的通道中对粒子进行计数和分类。通道的实例是:0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm。
9.计数效率:测量的颗粒浓度与真实颗粒浓度的比率。使用更灵敏的仪器测量真实的颗粒浓度,在被测仪器的zui小颗粒尺寸下计数效率为100%。设计合理的仪器应具有50%的计数效率。
10.流速:这是通过粒子计数器的空气量。这通常以每分钟立方英尺表示。常见的流量为1.0 cfm和0.1cfm。流量越大,抽空气的泵越大,粒子计数器越大。
通常情况下,zui小尺寸是通过其他标准选择的。虽然这是一个重要的考虑因素,但也应该考虑其他参数。